设计特点
· 压电式控制阀
· 金属密封结构
· 响应时间快
· 设计紧凑
· 316l/316ss不锈钢结构
· 高精度达± 1％
p2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对小流量液体进行快速、精确控制的领域。其简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。*的热式测量系统提供精确的测量，同时液体温度上升小于5度。高级的控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可提供对小流量液体 进行 快速、稳定的控制。 p2000i系列同时也包括有一个液体质量流量计，用于那些不需要进行流量控制的场合。
d2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对液体快速、精确控制的半导体制造工艺。数字控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可让响应时间小于1秒。洁净空间内的装配工艺和全金属密封结构确保（高纯度和泄漏完整性）。*的层流旁路和传感器部件提供精确的测量，同时液体温度仅上升5度，此外，d2000i的简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。
液体流量计和控制器技术参数
流量范围 ： p2000i系列和d2000i系列液体流量控制器是以异丙醇（ipa）来标定的，在测量其它液体介质时需要乘以一个校正系数，具体请参考表一
响应时间 ： p2000i系列 ： 2s（ 设定点的2％之内 ）
d2000i系列：＜1s（ 流量的5％之内 ）
精度和线性 ：± 1％满量程（p2000i系列）；±1％读数（d2000i系列）
重复性 ： p2000i系列：＜±0.2％满量程（任意连续温度下）
d2000i系列：＜±0.2％读数
量程比： p2000i系列：50：1（2％-100％满量程）
d2000i系列：20：1（5％-100％满量程）
zui大操作温度 ： 40℃（104℉）
zui大操作压力： 125psig
温度系数 ：＜ 0.1％/℃
>设定点输入 /流量输出信号 ： 0-5vdc/0-5vdc（输出流量信号时：需zui小2kω电阻）
供电电源 ：﹢ 15vdc±10％（电流消耗＜200madc时）
泄露率 ： 1х10 -9 atm.cc/s he
预热时间： 10分钟（p2000i系列）；20分钟（d2000i系列）
电气连接 ： 9针d型
入口 /出口过程连接 ： 1/8″male vcr或1/8″swagelok
控制阀 ：压电式常开
内置容积 ：＜ 0.71ml（p2000i系列）；＜1ml （d2000i系列）
重 量 ：≤ 0.68kg
结构材质
主体： 316lss
传感器组件 ： 316lss
阀构成部件 ： 316lss（d2000i系列）；302ss和316lss（p2000i系列）
“ o"型环：316lss
表 一
ipa 流量范围（ccm） | 液体介质 | 校正系数 |
0.003-0.14 0.008-0.40 0.020-1.00 0.070-3.50 0.150-7.50 0.220-11.0 | cuprase-lect | 1.164 |
己烷 | 1.492 |
辛烷 | 1.532 |
omcts | 1.927 |
tdeat | 1.258 |
tmp | 1.357 |
四乙基原硅酸盐 | 1.156 |
tmb | 1.413 |
水 | 0.492 |
