产品概述
采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS（ Microelectromechanical systems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，不用温度压力补偿。
产品特点
1、产品集成度高，集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体，并可实现自动调节、控制阀门。
2、μf微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产和材料加工技术，使流量计的微流量测量灵敏度提升。
3、微小流量气体测量，ml/min级的微流量测控，实现微小流量测量的数字化。
4、单个芯片的流量特性的微处理技术，使流量计的量程范围提高。
5、机电—体化优化设计，智能化的数据处理技术，使流量计具有好的重复性，实现了计量的准确。
5、结构的优化，MFM流量计的压力损失达到小化。
6、采用MF传感技术，使流量计工作稳定。
7、零点自校功能，测量准确。
8、多种气体实际标定，全量程补偿。
9、快速响应、数据自动存储，配合上位机可实现网络集中管理。
10、规格全，量程范围宽，可根据用户要求单独标定。
11、精度等级高。
12、流量计报警功能，使监控可靠。
13、操作、设置界面友好、简便，可根据需要自行设定相关参数。
14、运用行业多，是科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、石油化工行业微小气体流量控制产品升级换代的选择。
产品参数
测量介质：各气体（乙炔气和混合气体除外）
流量范围： DN3 10-100ml/min
100-1000ml/min
DN4 250-2500ml/min
DN6 1000-10000ml/min
DN8 1500-15000ml/min
DN10 2500-25000ml/min
DN18 10-100SLM
注：(a)以上 流量的测量介质为空气而言;
(b)以上 流量的标准状态20℃，101.325kPa。
(c) 每个口径量程范围均可扩大
(d)特殊需要可联系厂家单独标定
2.3 流量测量准确度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4 工作温度范围：0-55℃；
2.5 工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6 供电电源：24VDC±10%；
2.7 输出信号：4-20mA，RS485通讯；
2.8 环境温度：0-55℃；
2.9 显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。
服务介绍
1、对本公司产品实行负责制，提供技术支持和技术服务；
2、对产品质量实行三包，质保期3年；
3、免费对用户的工程技术人员就产品的使用、维护及一般的故障处理等方面进行培训；
4、指导客户安装调试；
5、定期对用户进行回访和技术交流；
6、优先对项目用户提供产品和技术交流；
7、免费提供产品资料和说明书。
