北京壮仕科技有限公司
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设备名称滑动式双温区PECVD系统——OTF-1200X-II-4CV-PE-SL（2019
| 设备名称 | 滑动式双温区PECVD系统——OTF-1200X-II-4CV-PE-SL （2019.12.23—科晶实验室审核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品提示 | 1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品特点 | ▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度； ▪ 滑轨式可快速加热和快速冷却； ▪ 两个加热区，温度梯度可达 200ºC； ▪ 可在温度范围较大的条件下制备材料，如碳、ZnO纳米管或纳米线及单层石墨烯等。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 加热炉参数 | ▪ 温度：1200ºC（<> ▪ 两个PID温度控制器及30段可编程温控系统； ▪ 输入功率：208-240V，单相，功率：2.5KW； ▪ 高纯氧化铝纤维保温层可以限度降低能耗； ▪ 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。
多参数请联系科晶销售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射频电源 | ▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。
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| 真空系统 | ▪ 采用TRP-12的双旋真空泵； ▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵； ▪ 真空度可达10-2Torr。
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| 供气系统 | ▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）； ▪ 流量范围:
▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz； ▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管； ▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出； ▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
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| 产品尺寸和重量 | ▪ 设备总体尺寸：2200mm L´800mm W´1500mm H ▪ 净重：110kg ▪ 运输重量：230kg
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| 认证 | ▪ CE认证 ▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证 ▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
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| 国家 | ▪ 名称：可组合式等离子增强化学气相沉积装置 ▪ 编号：ZL-2011-2-0355777.1 ▪ 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 承诺 | ▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件） ▪ 因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
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