北京壮仕科技有限公司
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4路质子混气管式PECVD系统OTF-1200X-50-4CLV-PE
| 设备名称 | 4路质子混气管式PECVD系统—OTF-1200X-50-4CLV-PE |
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操作视频 |
| 外形尺寸 | 长*宽*高 2080mm*700mm*1520mm
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| 炉管规格 | 外径: 100mm 内径: 96mm×长: 1800 mm |
| 加热炉主要参数 | ·温度: 1200℃ ·额定工作温度: 1100℃ ·推荐升温速率:≤10℃/min ·加热区长度: L总：440mm（双温区包括隔环） 温区一：200mm 温区二：200mm ·加热炉额定功率：3KW ·滑动方式：电动控制 ·滑动行程：600mm ·电压：单相AC 208 - 240V, 50HZ |
| 温控系统 | 欧陆EPC3000仪表 ·模糊PID控制和自整定调节功能 ·智能化24段可编程控制 ·带过电流过电压保护 漏电保护 电气元件及电缆，冷压端子均符合UL认证标准 ·控温精度: ±0.1℃ ·控温：K型热电偶两根 ·通讯协议：modbus RTU |
| 软件控制 | · 可视化运行状态监控 · 温控系统，气路系统，真空系统，射频系统，滑动炉体，开合炉体，压力控制，全自动化， · 数据记录、过程记录集成一体 · 预制工作流程，一键自动运行 · 具有恒压功能，可以设定气体流量和恒定压力 压力控制：采用TRP-12（抽速3L/s）的双旋真空泵，在总进气量为100-150sccm，管内压力为 100-130pa，如总进气量高于150sccm时，请更换抽速更高的泵，测试为总进气量为1L/min（满足四路质量流量计全开状态时），使用VRD-60泵（抽速18L/s），真空为120-130pa（满足起辉条件）,可在任意供气量下设定任意气压值（该气压值需大于搭配泵体的真空值），气压值可自动稳定 |
| 新式快捷法兰 | 可方便快速取放物料 |
| 射频电源 | ·500W射频电源 ·0--500W可调（稳定性±1%） ·射频频率：13.56MHZ ·自动匹配 风冷 ·噪音＜50dB ·输入电压：AC108-250V |
| 供气系统 | ·四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%） ·流量范围：一路0-100 sccm 二路0-200 sccm 三路0-200 sccm 四路0-500 sccm 注：接入供气系统的气源需搭配减压阀，将气压降至2mpa以下 |
| 真空系统 | ·搭配TRP-12的双旋真空泵（抽速3L/s）（总进气量小于150sccm，该泵可以达到等离子发生真空度） ·搭配TRP-60双旋真空泵（抽速10L/s）（总进气量1L/min，该泵可以达到等离子发生真空度） ·KF25卡箍及波纹管用于连接法兰与真空泵 ·真空度可达10-2Torr |
| 备注 | 注：采用氩气高于射频功率200w情况下，需特殊说明，设备需要特殊改造及测试，（有法兰过热情况） |
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