北京壮仕科技有限公司
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设备名称▪1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统—OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE（2019
| 设备名称 | ▪ 1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统—OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE （2019.11.27—科晶实验室审核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品提示 | 1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品特点 | ▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度； • 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性； • 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控； • 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 工作电源 | • 输入电压：AC208-220V，50/60Hz • 总功率：<> | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 加热炉参数 | ▪ 温度：1100℃（<> ▪ 两个PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃； ▪ 工作电压：110V； ▪ 额定功率：1.5KW； ▪ 回转炉旋转速度：0-5 rpm。 更多参数请联系科晶销售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射频电源 | ▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。
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| 真空系统 | ▪ 采用TRP-12的双旋真空泵； ▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵； ▪ 真空度可达10-2Torr。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 供气系统 | ▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）； ▪ 流量范围:
▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz； ▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管； ▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出； ▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 循环水冷机 | ▪ 标配KJ-5000循环水冷机，水流速率：16L/min | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品尺寸和重量 | ▪ 尺寸：1400mm L´600mm W´1240mm H ▪ 净重：90 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 认证 | ▪ CE认证 ▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证 ▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 承诺 | ▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件） |
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