北京壮仕科技有限公司
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双通道ALD管式炉系统ALD-1200X-4
| 控制面板 | · 蒸汽压力、ALD以及气体流量参数均可通过一6英寸接触屏由PLC进行控制 · 两个ALD进气阀 · 请点击下图查看控制面板（点击图片查看详细资料） |
| ALD进气阀 | 两个ALD脉冲电磁阀（最小可在10ms完成阀门的开启或关闭）
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| 精密液体气相发生器 | 精密液体气相发生器包含在本系统中并且连接到ALD进气阀
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| 双温区管式炉 | · 连续工作的温度为1100℃ · 两个温区由两个独立的温控系统来控制，而且都为PID30段程序化控温 · 每个加热区长度为200mm，加热区总长度为400mm · 炉管两端放置管堵时两温区的温度差为500℃ · 输入电压：208-240V AC，单向 功率为4KW
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| 防腐型数显真空计 | · 测量范围：3.8x10-5 -1125 Torr · 耐腐蚀 · 对于气体的压力检测具有较高的精确度和重复性 · 可实现快速的气体监测，响应时间较短 易于更换插头及传感元件
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| 真空泵（选配） | · 管内真空度可达10-2Torr 真空泵不包含在本系统内，如您进行CVD实验可点击下图选购无油涡旋真空泵 |
| 混气系统 | · 可选购气液混合装置，用于CVD系统 · 可选购恒温控制模块 |
| 更新观念 | · 您可采用ALD设备搭建等离子增强原子层沉积+化学气相沉积系统（PE-ALD+CVD）和等离子增强原子层沉积+物理气相沉积+化学气相沉积系统（PE-ALD+PVD+CVD），用于生长各类材料 · |
| 质保期 | 一年保质期，终身维护（不包含炉管，加热元件和密封圈） |
| 质量认证 | · CE认证 · 所有电器元件（＞24V）均满足UL/MET/CSA认证 · 如您另付费用，我们可保证单台仪器通过TUV（UL61010）或CSA认证 |
| 注意事项 | · 炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 点击此处了解如何选择本公司石英/陶瓷管以及管式炉真空法兰 本公司有权随时修改PE-CVD系统的设计不再另行通知，但我们保证修改之后的仪器质量可以达到和超过上述标准 |
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