深圳市安川测量仪器有限公司
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阅读：200发布时间：2022-2-17
HONDA本多石英振动式超声波清洗机W-357-1MQB-SKC的使用和介绍
石英振动超声波清洗机使用将超声波叠加到石英振动体进行半导体精密仪器清洁，可以减少化学药品的使用，满足低损伤清洗，大面积清洗、斜面端的清洗等。
清洗损坏程度低的细分图案晶片
■通过在石英振动体上叠加超声波来清洗半导体晶片
通过将化学溶液浸入半导体晶片中并通过石英玻璃传播超声波振动，接触部分处的化学溶液振动，并且加速作用去除了表面上的污垢。
■实现清洁清洗，对半导体晶片的损坏很小
与使用诸如包装之类的橡胶材料的设备相比，通过使用化学溶液将石英用于润湿部件，可以实现清洁清洁，而不会洗脱或磨损橡胶。
■由于具有振动器冷却功能，因此与标准产品相比，输出增加了2.4倍。
通过用气体（氮气等）冷却振动器，可以实现稳定的连续运行而不会出现频率波动。
此外，通过冷却，温度不会突然变化，并且可以延长使用寿命。
采用
去除残留物
磨边后，灰化后去除聚合物
栅电极清洁
CMP后的清洁石英振动式超声波清洗机W-357-1MQB-SKC由深圳市安川测量仪器有限公司*销售石英振动式超声波清洗机W-357-1MQB-SKC石英振动式超声波清洗机W-357-1MQB-SKC
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