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阅读:297发布时间:2022-4-14
SiC与其他半导体材料的性能比较
在SiC材料的研究与开发中,傅立叶变换红外光谱技术(FT-IR)是一种简单而有效的研究其各种性能的工具。它可以用于测定掺杂浓度、外延层厚度或声子光谱,对晶体结构和质量提供有价值的信息。基于傅立叶变换红外的光致发光光谱技术(FT-PL)可以提供额外的信息,如能带结构和电荷载流子的细节。透射光谱技术可以研究半导体的带隙、激子和其他电子特性。此外,碳化硅杂质和缺陷分析也是材料开发和质量控制的重要步骤。
布鲁克(Bruker)公司的VERTEX和INVENIO系列研究级傅立叶变换红外光谱系统,可以覆盖从FIR到VIS/UV的宽光谱范围,拥有的步进扫描技术和出色的性能,可选真空光学台,是上述许多应用的分析系统。
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