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福芯科技(香港)有限公司


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无掩膜光刻直写设备----MLA100

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更新时间:2022-04-05 12:02:46浏览次数:243次

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经营模式:其他

商铺产品:65条

所在地区:香港

联系人:销售

产品简介

无掩膜光刻直写设备----MLA100

详细介绍

工作方式:无掩膜直写

配置高精度对准摄像机,套刻精度达1um以下

接受衬底尺寸:6”x6”

直写面积:125mm×125mm;

光刻胶曝光灰度:128阶

最小线宽:1um;

制版直写速度在50x50mm下于50分钟完成,在

100x100mm下于200分钟完成。

线宽均匀度<300nm

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