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匀胶、显影处理系统-AutoTrack

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更新时间:2022-04-05 12:04:20浏览次数:243次

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经营模式:其他

商铺产品:65条

所在地区:香港

联系人:销售

产品简介

匀胶、显影处理系统-AutoTrack

详细介绍

产品特点:

同一设备实现2"-8"晶圆兼容.

涂胶、显影模块自带暂停/恢复功能.

同片盒内每个硅片可分别制定工艺运行.

干湿分离,电液分隔.

维护省力、简便.

设备和各工位全封闭设计,不受外环境干扰可独立增加层流罩,提升小环境洁净度.

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