福芯科技(香港)有限公司
匀胶、显影处理系统-AutoTrack
产品特点:
同一设备实现2"-8"晶圆兼容.
涂胶、显影模块自带暂停/恢复功能.
同片盒内每个硅片可分别制定工艺运行.
干湿分离,电液分隔.
维护省力、简便.
设备和各工位全封闭设计,不受外环境干扰可独立增加层流罩,提升小环境洁净度.
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