上海智与懋检测仪器设备有限公司
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阅读：336发布时间：2023-9-19
热电偶晶圆测温系统的应用
原理
热电偶晶圆测温利用热电效应来测量温度。其基本原理是在晶圆表面埋入微小的热电偶元件，当晶圆表面温度发生变化时，热电偶产生微弱的电压信号。通过测量这些电压信号，可以准确地计算出晶圆的温度变化。
TC-Wafer晶圆温度传感器是将高精度温度传感器镶嵌在晶圆表面，对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点了解特定位置晶圆的真实温度，以及晶圆整体的温度分布，同还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化，获得升温、降温以及恒温过程期间的温度温度数据，从而了解半导体设备的温度均匀度。
智测电子的高精度晶圆热电偶温度传感器是半导体制造厂 Fab、PVD/CVD 部门、RTP 部门等行业用户的***。
作为一家专业的传感器生产厂家，智测电子不仅拥有全套传感器生产、加工与检测设备，还能为用户提供定制化的解决方案。
其产品优势在于软件功能优异，能够实现高精度多通道数据采集、数据统计、趋势绘图和数据导出等功能。智测电子生产研发的TC-Wafer晶圆温度传感器，其温度范围广泛，智测电子的产品设计考虑到了用户的实际需求，传感器引线可定制，且采用了硅基胶粘剂和焊接技术，使其具有更好的性能和可靠性。
智测电子的高精度温度传感器不仅在技术上具备优势，而且在服务方面也能够为用户提供专业的解决方案。无论是在半导体装备、航空航天、智能制造、高校实验室、计**所、生物技术等行业，智测电子都能够为用户提供高品质的产品和服务，满足用户对高精度测温的需求。
热电偶晶圆测温系统的应用
高低温探针台晶圆测温系统、TC-Wafer晶圆测温系统、光刻晶圆温度测量系统、湿法工艺晶圆温度测量系统、离子注入晶圆温度测量系统
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