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公司简介
沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称 “公司”）创建于1958年，前身为沈阳科学仪器研制中心。园区位于辽宁省沈阳市浑南区，占地面积110亩，建筑面积3.5万平方米。多年来，公司专注于高真空、超高真空、超洁净真空技术的研究和发展，是我国集成电路装备和真空仪器设备的研制、生产基地，先后组建“国家分子束外延技术试验基地”、“国家真空仪器装置工程技术研究中心”和“真空技术装备国家工程实验室”等科研平台。公司主要从事干式真空泵、真空仪器设备的研发、生产和销售，并提供相关技术服务。公司产品主要包括系列罗茨干泵、系列涡旋干泵、大科学装置、真空薄膜仪器设备和新材料制备设备等。公司承担了国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺&rd...
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