上海西努光学科技有限公司
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超声波影像装置 FS LINE/FS LINE Hybrid
FS LINE采用大型扫描仪和大型水槽 可应对FineSAT系列装置不能应对的大型对象物（如FPD、面向太阳能电池的溅镀靶材、陶瓷零部件等不断大型 化的材料、零部件）的检查。 除了单焦点探头用的FS LINE以外，还准备了同时使用单探头和阵列探头，可以缩短大型对象物的检查时间的FS LINE Hybrid。同时，作为选购件，还准备了用于检查筒状/圆柱状对象物的表面的旋转台。关于水槽和扫描仪尺寸，也请随时咨询。 |  |
| FS LINE | FS LINE Hybrid | |
| 探头方式 | 单探头的机械扫描方式 | 支持机械扫描或相控阵探头电子扫描两种方式 |
| 接合部分的检查时间事例(*) | 约10分钟 | 1分30秒 （通过相控阵探头的电子扫描进行测定） |
*(测定范围2,500×300mm、2mm间距扫描时)
FS LINE能进行高精度的测定，还拥有基于FineSAT的使用方便性，並重视安全性。
FS LINE Hybrid在低频范围的阵列探头上实现了高阻尼化。 这样，可同时进行靶材和背板的接合检查和靶材内部的孔隙检查。
而且，单焦点探头难以检查的边缘斜面用斜角电子扫描也可进行检查。型号 新型装置 同时发送接收数量 *多32个振子 支持振子数 *多128个振子 阵列方向电子聚焦 可编程 接收范围 5, 10, 15MHｚ FS LINE Hybrid规格(阵列相关) 
斜角电子扫描声束控制示意图
有效扫描范围4,000×2,000的事例有效扫描范围 750×800 1,550×2,000 4,000×2,000 （単位：mm） 
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