我国集成电路装备制造业已现主流产业雏形

　　我国集成电路装备制造业已现主流产业雏形

　　相对于集成电路制造业，我国的集成电路装备制造业无论从生产规模、研发水平、投资强度以及人才聚集等方面都还存在着很大的差距，尚未形成可以支撑自身可持续发展的产业规模。这一状况导致我国目前所有已建、在建和筹建的8英寸集成电路制造厂的生产装备*依赖进口。面对强劲的市场和产业发展需求，建立健康的集成电路装备制造业，开发关键制造装备和具有自主知识产权的*工艺，形成具有自主发展能力和核心竞争力的产业链，实现可持续健康发展，已成为我国集成电路制造业亟待解决的一项具有全局性和战略性意义的核心问题。

　　中低档市场拥有一定用户群

　　当前我国涉足集成电路装备研究和生产单位约40个，其中主要单位20家左右，主要提供4英寸、5英寸、6英寸集成电路装备，在中低档市场上拥有一定的用户群，但在8英寸以上主流装备市场上尚无一席之地。大部分单位从事前工序装备研制，如半导体前道工序用扩散炉、快速热处理装备、清洗机、匀胶显影装备等;后道工序装备、材料制备装备、净化装备、检测装备和试验装备也各有一些单位在研究和生产。后道工序中的划片机、塑封机、部分模具等;材料制备装备中的单晶炉、研磨机、抛光机。部分净化装备和试验装备中，国产装备已经日渐成熟。部分材料制备装备、后道工序装备以及6英寸前道工序中的扩散装备、快速热处理装备、清洗装备等已逐步进入集成电路生产领域。

　　相对集成电路装备产业链的优势，我国集成电路装备产业链还很薄弱，虽然经过“十五”集成电路制造装备重大专项的实施，已经初建起零部件的供应体系，但与国外的配套环境相比，我们还存在上游基