1 ．本底高速恢复
・通过岛津的分析管270度偏转方式，不受氦以外气体的影响，即
使吸入了大量氦，本底也能快速恢复
2 ．测试端口氦排气速度3L/s（50 Pa以下）
・氦排气速度较高，有助于本低的快速稳定及快速感应
・ 在生产线中有助于缩短节拍时间
3 ．搭载非接触型的干式真空泵
・ 搭载无油/无尘/三年免维护的泵
・ 无尘室
・无需更换油旋转真空泵的油，可防止漏油和排气烟雾
上海亨东仪器有限公司
上海亨东仪器有限公司
内置非接触式罗茨干泵負荷容積 5L
1 ．本底高速恢复 ・通过岛津的分析管270度偏转方式，不受氦以外气体的影响，即 使吸入了大量氦，本底也能快速恢复 2 ．测试端口氦排气速度3L/s（50 Pa以下） ・氦排气速度较高，有助于本低的快速稳定及快速感应 ・ 在生产线中有助于缩短节拍时间 3 ．搭载非接触型的干式真空泵 ・ 搭载无油/无尘/三年免维护的泵 ・ 无尘室 ・无需更换油旋转真空泵的油，可防止漏油和排气烟雾 MSE-2400全自动便携式氦质谱检漏仪（油泵）
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