青岛新纪元环保工程有限公司
一、产品介绍1、适合于检测半导体特气的微量泄漏
一、产品介绍
1、适合于检测半导体特气的微量泄漏。
2、采用声光报警。
二、产品参数
型号 | XP-703D |
检测对象气体 | 半导体材料气体(胂、膦、乙朋烷、硅烷、氢气等) |
检测原理 | 热线型半导体式 |
采样方式 | 自动吸引式 |
可检测浓度 (单位:ppm) | 砷烷磷烷乙朋烷硅烷氢气 AsH3PH3B2H6SiH4H2 0.20.30.10.51.0 |
检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
应答速度 | 10秒以内 |
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