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似空科学仪器(上海)有限公司


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场发射扫描电镜热场式 SU5000

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产品型号SU5000

品       牌

厂商性质其他

所  在  地上海

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更新时间:2023-01-04 15:21:37浏览次数:240次

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产品简介

简要描述:操作高效便捷; 创新的“EM Wizard"界面更加直观,仅需要“点击"即可得到的图像。超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。

详细介绍

  •  

    特色

     

    高性能电子光学系统

    ● 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)*

    ● 高灵敏度: 高效PD-BSD, 的低加速电压性能,低至100 V成像

    ● 大束流(>200 nA): 便于高效微区分析

     

    性能优异

    ● 压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配备高灵敏度低真空探测器(UVD)*

    ● 开仓室快速简单换样(样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)

    ● 微区分析: EDS, WDS, EBSD等等

    *:  选配附件

     

     

     

    规格

     
    项目 内容
    分辨率   1.2 nm @ 30 kV
      3.0 nm @ 1 kV
      2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1
      3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2
    放大倍率   10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
      30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
    电子光学系统 电子枪   ZrO /W 肖特基式电子枪
    加速电压   0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进)
    着陆电压   减速模式: 0.1 - 2.0 kV *1
    束流   > 200 nA
    探测器   低位二次电子探测器
    低真空模式*2   真空范围: 10 - 300 Pa
    马达台 马达台控制   5 - 轴自动 (优中心)
    可动范围   X:0~100mm
      Y:0~50mm
      Z:3~65mm
      T:-20~90°
      R:360°
    样品尺寸   直径: 200 mm
      高度: 80 mm
    选配探测器
    • ○ 高分辨率顶位二次电子探测器*1
    • ○ 高灵敏度低真空探测器 (UVD)
    • ○ 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3
    • ○ 能谱仪 (EDS)
    • ○ 波谱仪 (WDS)
    • ○ 背散射电子衍射探测器 (EBSD)

    *1: 减速功能(包含高分辨率顶位二次电子探测器)

    *2: 低真空功能(包含5分割半导体探测器)

    *3: 空压机(本地采购)

     

     

    应用案例

     

    样品: 氧化锌粉末
    着陆电压: 1 kV ; 倍率: 120,000x
    低电压下顶位二次电子探测器成像

     

    样品: PTFE
    加速电压: 3 kV ; 倍率: 13,000x
    UVD探测器可在低加速电压(3 kV)和低真空
    (40 Pa) 下获得高质量图像

关键词:波谱仪

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