上海春粟自动化科技有限公司
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支持正压检漏，负压检漏自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底机器**的性能支持7*24小时长时间在线测试机器**的性能支持几秒一次的高频率测试配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤双铱丝离子源，有效的系统设计，防
A100型氦质谱检漏仪广泛应用于科研院所、航空航天、动力锂电池，阀门、精密仪表、机械加工、电力、半导体、光伏、真空镀膜、真空热处理等。
功能描述
支持正压检漏，负压检漏
自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果
优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应
高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦
支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底
机器**的性能支持7*24小时长时间在线测试
机器**的性能支持几秒一次的高频率测试
配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤
双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击
支持定制检漏工作台，更加便捷使用
技术参数
小可检漏率（负压模式） 5×10-13Pa·m3/s
小可检漏率（正压模式） 1×10-8Pa·m3/s
检漏口压强 粗检 1500Pa
中检 200Pa
精检 40Pa
响应时间 ＜1s
启动时间 ≤3min
前级油泵抽速 16m3/h
外形尺寸（W×D×H） 845×465×988
重量 80Kg
常见泄漏率
水每秒漏一滴水 | 10-2Pa.m3/s |
车胎打气在水中冒泡 | 10-3Pa.m3/s |
头发丝夹在密封圈与法兰之间 | 10-3Pa.m3/s-10-4Pa.m3/s |
半年内汽车轮胎压力 从0.23Mpa降到0.19Mpa | 10-6Pa.m3/s |
空调连续工作一年，泄漏1克冷媒 | 10-7Pa.m3/s |
检漏方法示意图
结构图
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