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14nm集成电路工艺教学套件

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更新时间：2023-07-28 09:20:04浏览次数：35次

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7nm微电子器件教学套件

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产品简介

14nm集成电路工艺教学套件主要特性 ●直观全面及实践性：直观展示典型集成电路器件的制造工艺流程，实验箱液晶显示屏模拟真实工艺设备的参数设定，增强工艺教学的实践性。●与时俱进及可拓展性：产品包含当前器件的制造工艺流程（如FinFET、SOI等），预留1个定制按键用于用户特殊器件工艺的定制需求，集成电路工艺模拟器可以根据行业工艺技术的发展进行同步更新。技术资料产......

详细介绍

当前我国的集成电路量产工艺已经进入到14nm，以EUV光刻机为代表的工艺制造设备价格极其昂贵，高校很难采购这类设备用于教学，同时，新手操作容易损坏，又有一定的危险性，使得高校集成电路工艺教育与真实工艺线人才需求脱节。为此，我们研发了14nm集成电路工艺套件。

该套件包含如下内容
1. 完整的14nm工艺线虚拟制造设备操作：氧化炉、CVD设备、PVD设备、刻蚀机、离子注入机、退火设备、外延设备。
2. 完整的14nm工艺线虚拟制造步骤及晶圆微观结构、参数特性、电学特性等：氧化、淀积、光刻、刻蚀、离子注入、扩散、退火、外延。
3. 完成的14nm工艺线典型器件制造步骤及器件微观结构、参数特性、电学特性等：14nm FinFET；GaAs；LDMOS；MOSFET；BJT；DIODE；RESISTOR。
4. 完善的工业级集成电路版图设计，包含基本器件单元和电路的版图设计及GDSⅡ文件的导入和导出。
5. 7nm微纳电子教学套件衔接，实现从工艺制造到器件测试完整过程。