当前位置：青岛晨立电子有限公司>>扩散炉>>氧化炉>>半导体退火炉硅片退火炉

半导体退火炉硅片退火炉

返回列表页

参考价: ￥ 68000

订货量: ≥1 台

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品牌其他品牌

厂商性质生产商

所在地青岛市

在线询价收藏产品

联系方式：姜经理查看联系方式

更新时间：2024-01-24 11:38:33浏览次数：112次

联系我时，请告知来自仪表网

产品分类 品牌分类

  扩散炉

科研炉

氧化炉

全部产品列表

  其他品牌

青岛晨立电子有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：19条

所在地区：山东青岛市

联系人：姜经理（经理）

询价 给他留言

产品简介

半导体退火炉硅片退火炉供大规模集成电路、MEMS 生产线用做6“硅片的合金、氧化、退火、烧结、扩散等工艺使用。同时也可下沉工艺，完成4寸wafer 的相应工艺。

详细介绍

半导体退火炉硅片退火炉

一、设备结构:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圆形6寸片
3、工艺布局:满足客户工艺要求

4、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程
5、送取片方式:手动进出舟。
6、外形:主机1台，主机架为卧式两管。
二、主要技术参数:
1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作温度范围: 上管:600~1400℃
下管:200~500℃
3、恒温区长度及精度:600mm，
上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控机统一管理工艺
5、气路设置:每管两路气体:氮气100L/min.氩气100L/min。均采用MFC自动控制流量大小。晨立公司拥有十几年的专业研发制造经验。自成立以来，坚持产品设计和服务质量共同发展，积极进取，精益求精，不断提高产品核心竞争力。公司产品拥有自主产权。已拥有2项实用新型zhuanli，2项发明zhuanli正在申请中。有5名中、高级职称的工程师组成专业的研发团队，从事热工行业近20年之久，有丰富的生产制造经验。