产品简介

中图仪器光纤激光尺基于激光干涉测量原理，是一种高精密度、高灵敏度、高效快速的先进位置检测设备，在非接触高精度测量领域具有其它测量方法没有的优势，相比传统钢带尺或玻璃光栅，具有更加精确的栅距和更高的分辨率，同时其热源隔离设计，保证了更高的稳定性，具有安装快捷，易于准直等特点，是特别为超高精度位置反馈应用而设计，在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。

PLR3000光纤激光尺配置高稳定氦氖激光光源，稳频精度最高可达0.02ppm。激光通过保偏光纤引导，用户可轻松将干涉仪配置到任意需要测量位置，最大限度减小阿贝误差。

PLR3000光纤激光尺可根据用户需求，配置单轴、双轴以及三轴输出，轻松实现多轴测量或多自由度测量。同时提供多种干涉探头配置，用户可根据实际需求选择角锥棱镜干涉仪、平面镜干涉仪和差分干涉仪以及无内置干涉镜组的测量探头，满足用户各种复杂场景应用。

功能特点

（1）高分辨率数字正交信号输出，分辨率达10nm（可外部拓展）。 

（2）高测量精度，线性测量精度达0.2~0.5ppm。

（3）高稳频精度，可达0.02~0.05ppm。

（4）测量范围大，最大量程可达4m（可拓展）。

（5）激光发射装置与干涉探头分离，通过3m铠装光纤与电缆连接，可将激光尺主机远离被测量设备，便于安装，同时还可避免主机散热对测量通路的影响。

（6）输出正交数字信号或1Vpp正余弦信号，可以适用于不同的控制器。

（7）体积小巧，适合狭小空间安装，可最大限度降低阿贝误差。 

（8）即可作为激光干涉仪进行测量，也可用于闭环位置反馈控制。

（9）多通道输出，可轻松实现多轴同时测量及多自由度测量。

（10）环境补偿功能，一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。

核心优势

1. 高精度

（1）分辨率10nm（可拓展），线性测量精度0.2ppm，稳频精度0.02ppm，满足纳米级测量需求。

（2）环境气象站实时补偿温度、湿度、气压对测量的影响，确保数据长期稳定。

2. 灵活配置

（1）支持单轴、双轴、三轴输出，轻松实现多自由度测量。

（2）可选差分干涉仪、平面镜干涉仪、角锥棱镜干涉仪等多种探头，适配复杂场景。

3. 高稳定性与便捷性

（1）激光光源与探头分离设计，3米铠装光纤连接，避免设备散热干扰，安装灵活。

（2）体积小巧，适配狭小空间，降低阿贝误差风险。

4. 广泛适用性

中图仪器光纤激光尺大量程4米（可拓展），支持动态速度达2m/s，覆盖从静态检测到高速运动场景。

典型应用场景

半导体制造：光刻机晶圆定位、精密工件台反馈控制。

航空航天：发动机叶片形变检测、高精度装配校准。

精密加工：数控机床多轴联动位置反馈、微机械元件测量。

科研领域：光学平台稳定性监测、超精密实验设备控制。

服务与支持

定制化方案：根据需求提供探头配置、量程拓展、环境补偿单元等灵活选配。

专业认证：提供中国计量院或深圳市计量院出具的激光校准证书，确保数据性。

全球服务网络：1年质保，技术支持团队7×24小时响应，快速解决现场问题。