北京帕托真空技术有限公司
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INFICON是精密真空测量和控制设备制造商,以其高品质、高精度的产品在范围内享有声誉。PCG550是该公司推出的皮拉尼电容膜片真空计系列之一,体现了INFICON在真空测量技术领域的专业性。
皮拉尼传感器:
PCG550采用了皮拉尼(或译为派蓝尼)热传导式真空计原理。在这种技术中,一个加热元件(通常为电阻丝)维持在一个恒定的温度差上,通过测量其与周围环境气体之间的热能交换来确定气体压力。气体压力越低,其热导率越低,电阻丝需要消耗更多的能量以维持设定的温差,因此,通过监测加热元件的功率消耗(或等效的电信号),即可推算出相应的真空度。
皮拉尼传感器适用于中低真空范围,如从大气压至约10^-3 mbar(或1 Torr)的压力区间。
电容膜片传感器:
同时,PCG550还配备了INFICON陶瓷电容膜片传感器(CDG技术)。这种传感器利用薄膜材料在不同真空环境下产生的微小形变来改变电容值,从而实现对高真空度的精确测量。
电容膜片传感器具有良好的线性度、长期稳定性以及对多种气体类型的广泛适用性,尤其适用于高真空低真空范围,例如从约10-3 mbar至低于10-9 mbar的压力区间。
优势与特点:
宽量程覆盖:由于结合了皮拉尼和电容膜片两种传感器,PCG550能够在单一设备内实现宽广的真空度测量范围,从接近大气压直高真空,无需更换或外接其他仪器,大大简化了真空系统的配置和操作。
气体类型无关性:电容膜片传感器独立于气体类型,对不同气体混合物具有良好的通用性,无需进行特定气体的校准,适应于多种工业应用和科研环境。
高精度与稳定性:INFICON的皮拉尼和电容膜片技术均以其高精度和长期稳定性著称,确保了PCG550在各种工作条件下都能提供可靠且精确的压力读数。
智能化设计:作为一款现代真空计,PCG550可能配备数字接口(如RS-232、RS-485、Ethernet等)、可编程功能、以及与自动化控制系统集成的能力,便于数据记录、远程监控和系统集成。
工业级品质:作为德国制造的产品,PCG550遵循严格的工业标准,具备出色的耐用性和抗干扰性能,适用于严苛的工业生产环境。
应用领域:
PCG550皮拉尼电容膜片真空计广泛应用于半导体制造、镀膜工艺、科学研究、真空炉、检漏系统、航空航天、以及其它需要精确真空控制的工业和实验室场合。
总结来说,德国INFICON PCG550皮拉尼电容膜片真空计是一款融合了两种真空测量技术的设备,凭借其宽量程、高精度、气体类型无关性及工业级品质,成为中高真空环境测量的理想
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