
在半导体晶圆制造领域,低温环境下的性能测试是保障芯片可靠性的关键环节。国内某半导体企业生产的 12 英寸逻辑晶圆,此前在 - 70℃低温测试中因传统设备结霜问题,导致晶圆电路短路、测试数据失真,通过率仅为 82%,严重影响量产交付。引入广皓天冷热冲击箱后,凭借其 - 70℃低温无结霜技术与精准控温能力,不仅解决了测试环境干扰难题,更将晶圆测试通过率提升至 98%,为半导体制造筑牢品质防线。

该企业此前使用的普通低温测试设备,在 - 50℃以下低温环境中,箱体内空气中的水分易凝结成霜,附着在晶圆表面及测试探针上,造成电路漏电、信号传输中断,每批次需额外投入 20 小时进行除霜与重新测试,且反复冻融易导致晶圆边缘出现微裂纹。针对这一痛点,广皓天定制的冷热冲击箱搭载了 “真空干燥 + 惰性气体循环" 双防结霜系统,在 - 70℃至 150℃宽温域内,箱内湿度可稳定控制在 5% RH 以下,实现低温测试全程无结霜,契合 JEDEC JESD22-A108 标准中对晶圆低温可靠性测试的严苛要求。

依托冷热冲击箱的无结霜技术与高精度控温能力,该企业成功排查出晶圆光刻胶涂层在低温下收缩不均的问题。通过优化光刻胶烘烤工艺参数,晶圆低温下的漏电电流从 50nA 降至 5nA 以下,开关速度稳定性提升 30%。更关键的是,测试过程中无需停机除霜,单批次测试时间从 48 小时压缩至 32 小时,测试通过率从 82% 跃升至 98%,每年减少晶圆报废损失超 500 万元,同时满足了汽车电子、工业控制等领域对晶圆低温性能的严苛需求。
