测量范围 | 电阻率:10-7~10-2 Ω.cm; 方块电阻:10-6~10-1 Ω/□; 电导率:102~107 s/cm; 电阻:10-7~10-2 Ω; |
可测晶片直径 | 140mmX150mm(配S-2A型测试台); 200mmX200mm(配S-2B型测试台); 400mmX500mm(配S-2C型测试台); |
恒流源 | 电流量程分为0.1A、1A、10A三档,各档电流连续可调 |
数字电压表 | 量程及表示形式:00.000~19.999mV; 分辨力:1μV; 输入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.5%; 显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示; |
四探针探头基本指标 | 间距:1±0.01mm; 针间绝缘电阻:≥1000MΩ; 机械游移率:≤0.3%; 探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm; 探针压力:5~16 牛顿(总力); |
模拟电阻测量相对误差 ( 按JJG508-87进行) | 0.0001Ω、0.001Ω、0.01Ω≤0.5%±1字 |
整机测量相对误差 | 用标准电阻(0.0001Ω~0.01Ω)测试≤±3% |
软件功能(选配) | 软件可记录、保存、打印每一点的测试数据,并统计分析测试数据值、最小值、平均值、百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图,也可把测试数据输出到Excel中,对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能,根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。 |
计算机通讯接口 | 并口,高速并行采集数据,连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5 秒 |
标准使用环境 | 温度:23±2℃; 相对湿度:≤65%; 无高频干扰; 无强光直射; |