6517B型静电计/高阻系统特点
电阻测量可达1016Ω
电流测量范围1fA-20mA
小电流量程输入压降<20μV
200TΩ输入阻抗
<3fA偏置电流
高达425rdgs/s
噪声0.75fA p-p
内置±1kV电源
高电阻测量电压反接方法
可选的插件式扫描卡
主要技术指标
型号 6514 6517B
电流测量 <1fA(包含噪声)～20mA
电压测量 10μV(数字分辨率极限，可能含有噪声)～200V
电阻测量 10Ω～200GΩ 100Ω～10PΩ
低电阻精度优于1%，高电阻精度优于10%
（使用236、237、238测量，通过加电压测电流或加电流测电压实现，不直接显示阻值）
电荷测量 10fC(数字分辨率极限，可能含有噪声)～20μC 10fC(数字分辨率极限，可能含有噪声)～2μC
特性插头 3 Slot Triax 3 Slot Triax
IEEE-488 有 有
RS-232 有 有
Guard 有 有
CE 有 有
其它 5 1/2精度，替代6512、617-HIQ 5 1/2精度，内置±1kV电压源。湿度、
温度测量。采用交替电压极性法测高阻
可配置多通道的扫描卡
附件 237-ALG-2低噪声三同轴电缆， 237-ALG-2低噪声三同轴电缆，
鳄鱼夹型2m长3插槽三同轴线 鳄鱼夹型2m长3插槽三同轴线，
8607安全型高压双路测试线，
6517-TP热电偶探针，
CS-1305互锁连接头
