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热场式场发射扫描电镜 SU5000

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更新时间：2025-04-01 07:56:19浏览次数：138次

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产品简介

热场式场发射扫描电镜 SU5000

详细介绍

概述

产品参数

产品参数

项目		内容
分辨率		1.2 nm @ 30 kV 3.0 nm @ 1 kV 2.0 nm @ 1 kV 减速模式1 3.0 nm @ 15 kV 低真空模式2
放大倍率		10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) 30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
电子光学系统	电子枪	ZrO /W 肖特基式电子枪
	加速电压	0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进)
	着陆电压	减速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1
	束流	> 200 nA
探测器		低位二次电子探测器
低真空模式*2		真空范围: 10 - 300 Pa
马达台	马达台控制	5 - 轴自动 (优中心)
	可动范围	X：0～100mm Y：0～50mm Z：3～65mm T：-20～90° R：360°
	样品尺寸	直径: 200 mm 高度: 80 mm
选配探测器		高分辨率顶位二次电子探测器＊1 高灵敏度低真空探测器 (UVD) 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3 能谱仪 (EDS) 波谱仪 (WDS) 背散射电子衍射探测器 (EBSD)