纳米定位台的特点和应用

　　主要特点

　　高于行业标准3倍速度：<4ms的阶跃稳定时间和100μm的闭环位移控制；600Hz的响应频率；20N/μm的刚度

　　装备双传感器技术：在不同的负载下无需重新校准；*的机械带宽；

　　的ZSY纳米传感器定位性能：0.1nm的定位噪音；0.01%的线性度；0.005%的剩余磁滞；

　　免工具安装适配器；

　　超级不胀钢结构设计获得*的聚焦稳定性。

　　纳米定位台应用领域

　　表面结构分析；

　　自动对焦系统；

　　共焦显微镜；

　　扫描干涉仪。

　　纳米定位台采用无摩擦无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元分析优化柔性铰链结构，具有超高的导向精度，定位精度可达纳米级，分辨率达亚纳米，毫秒级定位稳定时间，产品体积小巧，结构紧凑，易于集成到其他设备中。