P15 压电扫描台是快速、高精度的三轴扫描和纳米定位台，具有非常高的直线度。中心通孔66×66 mm，非常适于透射光应用，如近场扫描或共焦显微镜和掩模定位。P15 压电扫描台运动行程为300μm/ 轴，它的内部采用有限元分析（FEA）优化的线切割挠曲铰链结构。 FEA 使其设计具有尽可能高的刚度，并使线性和角度跳动小化。

特点

• 三维运动 

• 行程范围为 300μm/ 轴 

• 可选配闭环传感器

• 无摩擦、高精度挠性导向系统 

• 扫描平整度高 

• 通孔尺寸 66×66mm

应用

扫描显微镜、掩模 / 晶圆定位、干涉、度量衡学、生物技术、微操作等。

可选配闭环反馈传感器

P15 压电扫描台可选配闭环反馈传感器，可提供更高的定位精度，非常适合高精度定位应用。

技术参数

注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。

带载阶跃时间