XD303系列压电偏转镜采用钢材料壳体，具有高刚性，是专为大承载应用而设计，承载能力达500g，适于带载大型镜片做快速偏转运动。

特性

• θx、θy 二维偏转 • 承载能力达500g • 高谐振频率 • 响应速度快

驱动原理

压电偏转镜（两轴运动）是基于平行运动学设计，具有共面轴及移动面。四个执行机构（压电促动器）以90°角平分放置，成对的差分控制分布。两对差分驱动压电促动器在较大温度范围内提供可实现的角度稳定性。它的偏摆运动是由两对压电促动器以推拉模式来实现，采用桥式连接电路控制。

技术参数

型号：XD303.T1S

运动自由度：θx θy

标称偏转角度：0.8mrad@120V

偏转角度：1mrad@150V

传感器类型：SGS

分辨率：0.1μrad

线性度：0.5 %F.S.

重复度：0.2 %F.S.

空载谐振频率：2800Hz

带载500g谐振频率：600Hz

阶跃时间：5ms

静电容量：14.5μF

材质：钢

重量：2000g

注：以上参数是采用E00/E01 系列压电控制器测得。驱动电压可在-20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。

推荐压电控制器-E70系列

芯明天E70系列压电控制器具有大电流、小体积的特点，驱动XD303系列压电偏转镜，可满足快速响应、高控制精度的要求。