新品介绍|XD107系列压电扫描台 - 三维纳米运动

时间：2022-7-20 阅读：1256

XD107系列压电扫描台是一款定制设计的三维运动的压电平台，具有特殊的负载安装孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，适用于样品显微成像/扫描、微纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用。

XD107系列压电扫描台内部采用机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷、无摩擦柔性铰链导向机构，可实现XY向100μm/轴、Z向80μm位移。具有非常高的控制精度，分辨率和稳定性都可达nm级，定位响应时间也可达ms级。

该压电扫描台可根据应用需求选配闭环传感器，以获取更高的精度。

产品特点

•XYZ三维运动

•行程可达100μm

•承载能力0.4kg

•中心通孔50×50mm

产品应用

•扫描显微镜

•掩模/晶圆定位

•干涉、度量衡学

•生物技术

•微操作

引线连接器

XD107系列压电扫描台的连接器共有2组，每组有3个，一组用于电压驱动信号的传输，一组用于传感反馈信号的传输。连接器的配置主要取决于所选配的压电控制器的连接器类型。XD107系列的连接器是为了匹配芯明天E00/E01系列压电控制器（下方右图），若更换其他压电控制器，可更换为其他相应的连接器类型。

外观效果

电压位移曲线：下图中为XD107系列压电扫描台的XY向的驱动电压与位移曲线。

线性度曲线

技术参数

型号：XD107.XY100Z20S

运动方向：X、Y、Z

标称行程范围(0~120V)：XY80/Z64μm

行程范围(0~150V)：XY100/Z80μm

传感器类型：SGS

闭环分辨率：3nm

闭环线性度：0.1%F.S.

闭环重复定位精度：0.02%F.S.

俯仰/偏航/滚动：≤30μrad

空载谐振频率：XY220/Z160Hz

带载400g谐振频率：XY110/Z80Hz

承载能力：0.4kg

静电容量：XY3.6/Z1.8μF

材质：钢、铝

通孔尺寸：50×50mm

外形尺寸：94×94×24.5mm

重量：420g

应用举例



立即询价 您留言后，厂商将第一时间为您服务！

*留言

标题：: 请输入你感兴趣的产品

需求：: 请简单描述您的需求

请简单描述您的需求

限200字

上传附件

*联系人

*电话

单位

微信

同手机号

邮箱

省份

请选择省份

请选择省份
安徽
北京
福建
甘肃
广东
广西
贵州
海南
河北
河南
黑龙江
湖北
湖南
吉林
江苏
江西
辽宁
内蒙古
宁夏
青海
山东
山西
陕西
上海
四川
天津
新疆
西藏
云南
浙江
重庆
香港
澳门
台湾
国外

*验证码

请输入计算结果（填写阿拉伯数字），如：三加四=7

提交后，默认您同意《服务条款》和《隐私协议》

哈尔滨芯明天科技有限公司

哈尔滨芯明天科技有限公司

新品介绍|XD107系列压电扫描台 - 三维纳米运动

收藏该商铺

提示

哈尔滨芯明天科技有限公司

哈尔滨芯明天科技有限公司

新品介绍|XD107系列压电扫描台 - 三维纳米运动

会员登录

收藏该商铺

提示