压电纳米定位台系列

无中空 / 中空式压电纳米定位台、压电式移相器、稳像压电扫描台、压电显微样品台、快速刀具定位台。

一至六维运动可选

纳米级分辨率

行程可达毫米级

毫秒至亚毫秒级响应

低温、真空、无磁版本可选

可定制

压电纳米定位台

压电纳米定位台是以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现 X 轴、Z 轴、XY 轴、XZ 轴、XYZ 轴及六轴精密运动的压电平台，驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。运动范围可达毫米级，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有*高的可靠性，压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。

P11 系列压电纳米定位台（放大机构式）

P11 系列压电纳米定位台为小体积 1~3 维压电平移台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现 100μm 位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有高导向精度、高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有非常高的控制精度，分辨率和稳定性可达纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级。压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，且体积小、结构紧凑、易于集成。

P11.X/Z/XY200 压电纳米定位台

P11.X/Z/XY200 系列压电纳米定位台是运动压电平台，它的行程范围可达 200μm。可选配闭环反馈传感器，获取更高精度。可定制低温真空版本。

P13 系列压电纳米定位台（放大机构式）

P13 系列压电纳米定位台为二维 XY、三维 XYZ 压电平台，台体采用平行运动学机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，位移达 48μm/ 轴。开、闭环版本可供选择。产品可用于光学显微、生物科技等领域。

P60.XYZ200 三维压电纳米定位台

P60.XYZ200 系列压电纳米定位台是 XYZ 三维运动压电平台，它的行程范围可达 200μm/ 轴。

P63 系列压电纳米定位台（直驱机构式）

P63 系列压电纳米定位台为小体积 1~3 维压电定位平台，内部采用直驱机构，它的重要特点是高精密且体积非常小巧，XYZ 三维运动版本的尺寸仅为 30×30×42mm（X 向运动版本尺寸仅为 30×30×21mm），非常易于集成到任何扫描仪器中。

P66 系列压电纳米定位台（直驱或放大机构式）

P66 系列压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源，并采用直驱或放大机构的 1~3 维运动的压电位移平台，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度，并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适于定位应用，如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等，已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。

P66.X30S/K-C1 压电纳米定位台

P66.X30S/K-C1 压电纳米定位台为一维 X 向运动压电平台，可进行 38μm 范围内的纳米级位置调整。

XD611.Z300 系列压电纳米定位台（低温真空）

XD611.Z300 是一款 Z 向运动的压电纳米定位台，它的行程可达 300μm，是专为低温真空环境应用而研发设计。

XD611.XYZ500 压电纳米定位台

XD611.XYZ500 压电纳米定位台是一款三维运动的压电平台，行程可高达 500μm，适用于小型样品的三维纳米定位应用。

XD770.300 系列大负载压电纳米定位台

压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用，可集成于各类高精密装备，为其提供纳米级运动控制，且应用非常广泛。

XD770.300 系列压电纳米定位台为 Z 轴方向的运动平台，行程可达300μm，负载可达5kg，实现行程范围和负载能力的双提升，为同时有大行程、大负载应用需求提供了优质的解决方案。配合芯明天压电控制器，分辨率高、响应速度快。

XD780 系列压电纳米定位台

XD780 系列压电纳米定位台可实现一维 X 向运动，有 50μm、150μm 和 200μm 三种行程可选。平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。内置高性能压电陶瓷，可实现 200μm位移。闭环版本全桥设计避免了温度的漂移，确保了纳米级定位精度。

XD731.XYZ100S/K 系列真空三维压电纳米定位台

XD731 系列三维压电纳米定位台是专为真空应用环境而设计，它的真空兼容度可达 10E-7mbar。

XP-611 系列压电纳米定位台（放大机构式）

XP-611 系列压电纳米定位台为一维 X 轴或 Z 轴压电平移台，采用机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，可实现 X 轴或 Z 轴 100μm 的位移行程，柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高，是一维精密定位与扫描的理想选择。

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