芯明天放大机构式压电扫描台 P16压电扫描台为XY轴平移扫描台，机构放大设计原理，中心通孔孔径为20mm，该系列扫描台有50μm与100μm两种规格行程 可选，开环闭环可选。方形移动台面，便于与外部机械结构安装连接。

P16压电扫描台特性

•大位移100μm

• 大承载1.5kg

• 通孔尺寸：Ø20mm

• 闭环重复定位精度高 • 开环闭环可选

刚度大、谐振频率高、负载能力大

    P16系列压电扫描台，采用机构放大设计原理，内置高性 能压电陶瓷，两个规格型号扫描台分别可实现50μm与100μm 的运动行程，一体式结构设计XY轴运动无耦合，优异的结构 可以承载1.5kg的负载，空载谐振频率达400Hz。

    P16.XY100版本为中心对称运动方式，需配套带有一通道 恒压的三通道压电控制器。

   P16二维压电扫描台中心通孔尺寸Ø20mm，该系列压电 扫描台以其小体积、大负载、高动态等特性广泛应用于显微成 像等领域。

芯明天放大机构式压电扫描台P16压电扫描台典型应用

• 显微成像 • 表面检测

• 干涉/计量 • 精密定位

• 光学 • 微操作

应用实例

    P16.XY二维压电扫描台以其大承载、高频率等特点，应用于光 路调整实验中，带载大镜架做XY轴精密运动。

P16压电扫描台技术参数：

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。