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P84.X一维X轴压电宏微复合台：
宏微复合机构是通过宏动调节测微头与压电微动调节机构完成大范围精密定位需求。
通过测微头与压电微调机构相结合的方式实现宏微复合机构，宏微复合机构可以与宏动平台配合使用，组成大行程高精度压电平移台
P84.X一维X轴压电宏微复合台技术参数
型号 | P84.X100S | P84.X100K | 单位 | |
运动自由度 | X | X |
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行程范围 | 13mm+110µm | 13mm+110µm | 粗调+精调 | |
平直度 | <3 | <3 | µm/13mm | |
重量 | 400 | 400 | g±5% | |
壳体材料 | 钢、铝 | 钢、铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） | 140×90×23 | 140×90×23 | mm×mm×mm | |
手动调节部分-千分尺 | ||||
粗调行程范围 | 13 | 13 | mm | |
粗调分辨率（千分尺） | 10 | 10 | µm | |
导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱导轨 |
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驱动方式 | 螺纹副（分厘卡） | 螺纹副（分厘卡） |
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千分尺灵敏度 | <2 | <2 | µm | |
台面尺寸 | 65×65 | 65×65 | mm×mm | |
千分尺读数 | 10 | 10 | （微米/格） | |
千分尺螺距 | 0.5 | 0.5 | mm/rev. | |
压电驱动精调部分-压电驱动 | ||||
精调行程范围 | 0~120 V，Nominal | 80 | 80 | µm±20% |
-20~150 V，Max | 110 | 110 | µm±20% | |
传感器类型 | SGS | - |
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步进/分辨率 | 7 | 2.5 | nm, typ. | |
闭环线性度(压电驱动) | 0.1 | - | %F.S. | |
重复定位精度 | 0.05 | - | %F.S. | |
运动方向推力 | 16 | 16 | N | |
刚度 | 1 | 1 | N/µm±20% | |
承载能力（Z向）* | 500 | 500 | g | |
工作温度范围** | -20~80 | -20~80 | °C | |
静电容量 | 1.8 | 1.8 | µF±20% | |
出线长 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
传感/电压连接器 | LEMO | LEMO |
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注：压电驱动的标称行程是在 0~120V 的驱动电压下的位移行程，大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在
0~120V。
以上所提参数与测试环境及测试设备有关。参数更新不予通知，具体请与销售工程师联系确认。
