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N11系列直线压电马达采用粘滑原理，将 PZT 压电陶瓷的微运动转换为毫米级长行程。它的体积非常小巧，仅 15×15×7mm^3。而它的行程却可高达 3.6mm，非常适用于受限空间中毫米范围行程的调整应用。
产品特点
行程可达 3.6mm
一至三维可选
体积小、重量轻
速度可达 2mm/s
断电自锁
产品应用
超分辨成像样品移动
微纳装备及制造
扫描电镜（SEM）样品操纵
纳米聚焦与扫描
集成电路制造与检测
显微及纳米 CT
大范围电子束直写（EBL）
高真空样品精度对准及调姿
N11系列直线压电马达
