7
当前位置：哈尔滨芯明天科技有限公司>>直线/旋转压电马达>>直线压电马达>> N31系列三维压电马达
N31系列三维压电马达
三维闭环压电马达可在XYZ三个方向运动，配备有增量式编码器进行闭环控制。内部采用PZT压电式驱动，每轴运动行程可选25、50、100mm，可达纳米级分辨率。
产品特点
行程25、50、100mm/轴可选
纳米级分辨率
增量式编码器
承载达2.5kg
产品应用
超分辨成像样品移动
微纳装备及制造
扫描电镜（SEM）样品操纵
纳米聚焦与扫描
主动光学
集成电路制造与检测
显微及纳米CT
大范围电子束直写（EBL）
高真空样品精度对准及调姿
N31系列三维压电马达
