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H60六自由度并联机构压电偏摆台
H60系列六自由度并联机构，是θx, θy, θz, X, Y, Z六轴运动工作台，通过六支压电促动器的协调伸缩实现空间内六个自由度的运动，台体结构紧凑，三种规格型号可供选择，闭环型号定位精度高，是六自由度微操作、微电子精密加工等应用。H60.XYZTR5S/K是H60系列中直线与角度位移一款。
产品特点
六维θx, θy, θz, X, Y, Z轴运动
小耦合
闭环定位精度高
误差无积累
H60六自由度并联机构压电偏摆台
