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热式气体流量计和层流差压流量计均用于气体流量测量,但原理、性能和应用场景有显著差异。以下是两者的详细对比:
1. 测量原理
热式气体流量计
原理:基于热扩散原理,通过加热元件和温度传感器检测气体流过热交换时的温度变化(恒温差法或恒功率法),计算流量。
特点:直接测量质量流量,无需温压补偿。
层流差压流量计
原理:利用气体通过层流元件(如毛细管或蜂窝结构)时产生的压差与流量成线性关系(泊肃叶定律),通过测量压差计算体积流量。
特点:需配合温度、压力传感器补偿为标况流量。
2. 主要特点对比
特性热式气体流量计层流差压流量计
测量类型直接质量流量(无需补偿)体积流量(需温压补偿)
精度±1%~±2% FS(可达±0.5%)±0.5%~±1.5% FS(依赖补偿精度)
量程比宽(通常50:1~100:1)中等(10:1~20:1)
压损极低低(依赖层流元件设计)
响应速度快(毫秒级)较慢(受差压传感器响应限制)
介质要求对气体成分敏感(需校准)对洁净气体适用(怕颗粒/油污堵塞)
安装要求直管段要求低需稳定流场(部分型号需直管段)
3. 适用场景
热式流量计:
需要直接测量质量流量的场景(如燃烧控制、半导体工艺)。
低压或真空条件(压损极小)。
腐蚀性/潮湿气体(可选防腐材质)。
层流差压流量计:
对精度要求高且气体洁净的实验室/医疗设备。
小流量测量(如检漏仪)。
需低成本解决方案
4. 优缺点总结
热式优点:宽量程、无活动部件、低维护、快速响应。
热式缺点:对气体组分变化敏感,初始成本较高。
层流优点:高精度、线性输出、结构简单。
层流缺点:易受污染,需定期校准,量程有限。
5. 选型建议
优先选热式:若需质量流量、宽量程或介质含杂质。
优先选层流:若预算有限、气体洁净且需高精度体积流量。
根据具体工况(气体性质、压力、预算等)综合权衡,必要时咨询厂商提供定制方案。
苏州爱拓利电子设备有限公司是一家专注微小气体质量流量计的研发生产销售一体的厂家。
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