北京联科创业科技发展有限公司
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• 质量流量和差压型
• 具有双向传感能力
• 零位和满量程都具有高度稳定性
| 规格 | zui小 | 标准 | zui大 |
| 励磁（电压）（1） | 8.0Vdc | 10±0.01Vdc | 15.0Vdc |
| 功耗 | | 50mW | |
| 标准气体 | 空气 | ||
| 比率误差 （1） | ±0.30（标准值）%读数 | ||
| 重复精度和滞后性 （2） | ±0.35 %读数 | ||
| 响应时间 | 1 ms（标准值） | ||
| 在满量程（200sccm）时的压力降 | 0.49（标准值）mbar | ||
| 超压 | zui大25psi | ||
| 工作温度范围 | -25°C至85°C[-13°F至185°F] | ||
| 存储温度范围 | -40°C至90°C[-40°F至194°F] | ||
| 振动 | 20 g’s, 10 Hz至2000Hz | ||
| 冲击 | 100 g, 6 ms | ||
| 重量 5.6g | |||
| 流量 （sccm） | 标称 （mV标准值） | ±容差 （mV标准值） |
| 200 | 77 | 32 |
| 150 | 68 | 29 |
| 100 | 56 | 25 |
| 50 | 36 | 17 |
| 0 | 0 | 20 |
| -50 | -37 | 18 |
| -100 | -57 | 26 |
| -150 | -69 | 30 |
| -200 | -78 | 33 |
| 产品目录编号 | AWM92200V | AWM92100V |
| 流量范围（满量程） | +/-200 sccm | |
| 压力范围 | | +/-2.0水柱（5 mbar） |
| 零位电压漂移（标准值） -25℃至25℃[-13°F至77°F] 25℃至85℃[77°F至185°F] | +/-2.0 mV（1） +/-2.0 mV（1） | +/-2.0 mV（1） +/-2.0 mV（1） |
| 输出电压漂移（标准值） -25℃至25℃[-13°F至77°F] 25℃至85℃[77°F至185°F] | -3.0% FSO （2） +/-1% FSO （2） | 25%读数 -30%读数 |
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