等离子清洗机F系列-山东普尔晟仪器有限公司

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更新时间：2025-02-04 08:12:58浏览次数：88次

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等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。

产品特点

u 7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20个配方程序，工艺数据可存储追溯。

u PLC控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。

u 采用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计或质量流量计(CPC-FM)，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体控制精准。

u 气体返填吹扫，HEPA高效过滤，防止二次污染。

u 316不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。

u 采用60度倾角操作面板设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。

u 上控制下舱体结构设计，结构紧凑，占地空间小。

u 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门不易损坏。

u 处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。

u 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。

安全保护，舱门打开，自动关闭电源

技术参数