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等离子清洗机F系列

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地青岛市

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更新时间:2025-02-04 08:12:58浏览次数:86次

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等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域,主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的

等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、线 路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域,主要用 于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。


产品特点

u 7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20个配方程序,工艺数据可存储追溯。

u PLC控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

u 采用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计或质量流量计(CPC-FM),可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体控制精准。

u 气体返填吹扫,HEPA高效过滤,防止二次污染。

u 316不锈钢、石英真空可选择,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。

u 采用60度倾角操作面板设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。

u 上控制下舱体结构设计,结构紧凑,占地空间小。

u 内凹式前面板设计,有效保护流量计和舱门不易损坏。

u 处理快速高效均匀,无污染,工艺重复性好。

u 样品处理温度热损伤和热氧化

安全保护,舱门打开,自动关闭电源

技术参数

型号

E系列

Eplus

F系列

Fplus

FM

FMplus

射频电源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

射频功率

10-300W

10-150W

10-600W

10-150W

10-600W

10-150W

匹配器

动匹配

动匹配

自动匹配器

激发方式

电容式或电感耦合(ICP)

电容式或电感耦合(ICP)

电容式或电感耦合(ICP)

气体控制

浮子流量计

双浮子流量计

单路MFC(可选两路)

舱体尺寸

D200xΦ155mm

D200xΦ155mm

D200xΦ155mm

舱体材质

不锈钢或石英玻璃

不锈钢或石英玻璃

不锈钢或石英玻璃

舱体容积

3.8L

3.8L

3.8L

有效处理尺寸

L200xW155mm

L200xW155mm

L200xW155mm

时间设定

9999秒

9999秒

9999秒

真空泵

抽速4m³/h

抽速4m³/h

抽速4m³/h

气体稳定时间

1分钟

1分钟

1分钟

真空度

100pa以内

100pa以内

100pa以内

 

AC220V 50/60Hz  766/316W

AC220V 50/60Hz 766/316W

AC220V 50/60Hz  752/302W

产品尺寸

L440xW410xH455mm

L440xW410xH455mm

L440xW410xH455mm

包装尺寸

L560xW560xH685mm

L560xW560xH685mm

L560xW560xH685mm

整机重量

32kg

32kg

32kg


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