等离子清洗机G系列-山东普尔晟仪器有限公司

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更新时间：2025-02-04 08:14:30浏览次数：81次

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等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。

产品特点：

u 7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20个配方程序，工艺数据可存储追溯。

u PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。

u 石英真空舱，真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。

u 采用质量流量计，实现对气体输入精准控制，改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。

u HEPA高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。

u 60度倾角操作界面设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。

u 顶置真空舱，上开盖设计，下压式铰链开关方式，开关盖方便。

u 采用花洒式多孔进气方式，改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

u 上置式360度自由水平取放样品托盘设计，符合人体功能学，操作更方便。

u 有效清洗面积大，可清洗直径8吋硅片。

u 安全保护，舱门打开，自动关闭电源。

G系列产品专为处理更大样品尺寸而设计，满足大部分实验室和中试生产模拟生产条件要求。

技术参数：