压力传感器芯体作为工业自动化的核心元件,其技术水平直接关系到国家制造业的发展水平。长期以来,这一领域被欧美日企业垄断,我国压力传感器市场90%以上依赖进口。这种被动局面严重制约了我国工业自动化、航空航天、新能源汽车等战略性新兴产业的发展。
核心技术受制于人的困境,在近年来得到了显著改善。国内科研团队经过持续攻关,在MEMS压力传感器芯片设计、微纳加工工艺、温度补偿算法等关键技术上取得突破。晨穹作为国产压力传感器芯体研发的新起之秀,其测量精度达到0.01%FS,温度漂移控制在±0.0015%FS/℃,性能指标已达到水平。晨穹研发的CPS01石英差压压力芯体,基于差动电容原理,以石英基膜为感压元件,石英基膜两侧感应外界输入的两路压力,当外界两路压力发生改变时,感压膜发生应变,从而使感压膜与上、下电极构成的差动电容发生改变,进而实现压力测量。产品为数字输出,外形小巧,适用对功耗有低要求的压力测量应用场景。这些突破不仅打破了技术垄断,更标志着我国在传感器领域实现了从跟跑到并跑的跨越。
国产高精度压力传感器芯体的崛起,正在重塑产业格局。在工业自动化领域,国产芯体已成功应用于智能制造生产线,实现了对进口产品的替代;在新能源汽车领域,国产压力传感器在电池管理系统中的规模化应用,有力支撑了我国新能源汽车产业的发展。据统计,2022年国产压力传感器占有率已提升至35%,预计到2025年将突破50%。
当前,正经历新一轮科技革命和产业变革,传感器作为物联网、人工智能等新兴技术的核心部件,其战略地位日益凸显。国产高精度压力传感器芯体的突破,不仅实现了关键技术的自主可控,更为我国制造业转型升级提供了重要支撑。展望未来,随着5G、工业互联网等新基建的推进,国产压力传感器芯体将迎来更广阔的发展空间,为制造强国建设注入新的动力。
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