真空测量仪是新一代智能复合真空测量仪。采用单片微机进行数据处理，真空度读数数字显示，测量结果直观、明确、读数方便。
真空测量仪：电离规管的除气可以自动或手动进行。采用数据记忆电路，热偶部分可在校准时直接将与热偶电势相对应的真空度数值，通过面板上的按钮置人仪器内部记忆单元。仪器可按有限个校准点构成的校准曲线进行真空度测 量。电离部分则可以将电离规管的校准系数置入仪 器内部记忆单元。测量时可以对读数进行修正，测量精度高。采用带有反馈环节的D/A电路控制热偶加热电流的大小，热偶加热电流可以数字设定， 简单、方便、直观、准确。量程自动切换。当真空度下降，超出电离规管测量范围时，仪器可以自动停止电离部分工作，显示热偶部分测量数据。当真空度提高时，则可自动启动电离部分工作。采用研制的面板嵌装式打印机，能打印真空度 —时间曲线或真空度—时间数据。两种打印方式可由用户选择，打印数据时，时间间隔可由用户选择。打印曲线时，真空度采用对数座标。真空系统真空度随时间变化的趋势一目了然.真空度单位可自动转换。具有多种测量显示模式，显示方式灵活多样。带有三个继电器触点，动作真空度可以数字设定。当真空度高于0.01Pa时，可以自动标定热偶规管的加热电流。仪器带有RS-485/232串行数据通讯接口，与上位计算机通讯方便。
真空测量仪：带对数/线性特性的0-10V可编程图表输出，适用于单个或组合规（后者VGC402/403）。高分辨率- 16位A/D转换。自动识别被连接上的INFICON的真空规。用户可选择测量单位（mbar, Torr, Pascal, micron）。多达6个带迟滞调整的可调设点，可分配到任意通道。通用紧凑的台式设计，可以轻松安装在面板或19"机架上。大范围电源匹配：90V-250V，50-60 Hz
