关于四极质谱（RGA）的问题

关于四极质谱（RGA）的Q&A

一、真空腔体里还有残留气体，也就是说想分析一下这些气体的成分或者比例，怎么办？

    选用四极质谱仪（RGA）。

二、什么是四极质谱、它有什么功能及应用？

     科锐诗汀代理的四极质谱（RGA)是一种用于确定系统中存在的残余气体及数量的仪器。用于检漏、工艺标定和诊断。应用于真空镀膜、热处理、半导体、太阳能等行业。

三、真空设备都要配四极质谱（RGA）吗？

    如果镀膜工艺要求高，建议配上RGA，比如很多的镀膜机（光驰、新科隆）标配就有RGA。

四、四极质谱仪（RGA）可以检漏吗？

可以。

五、配了四极质谱仪（RGA）还需要配检漏仪吗？

很多公司两款都有配，因为检漏仪的功能只是检漏，而且一般都是全套带泵组的，使用时非常简单。而四极质谱（RGA）要在一定的真空度上使用，且不止是检氦气，它的功能主要是分析真空腔体内的气体成份，检漏只是它功能的一种。

六、INFICON产品型号有哪些，各有什么特点，如何选择？

       Transpector CPM紧凑型过程监控器（带分子泵组和采样阀组、可自动控制、大真空度1.2大气压）

       Transpector  SPS 残余气体分析仪（带分子泵组和采样阀组、可自动控制、大真空度1.2大气压）

       CPM与SPS比较 SPS是CPM的简化版本，功能更简化。
       Transpector  XPR3+ 残余气体分析仪（质量数在0-100Amu,大工作气压1.3X10^-2mba）

       Transpector  MPH 残余气体分析仪（质量数0-100Amu、0-200Amu、0-300Amu;大工作气压5X10^-4mba）

       Transpector  MPS 残余气体分析仪（质量数0-100Amu、0-200Amu、0-300Amu;大工作气压5X10^-4mba）

       MPH与MPS比较，测量间隔小、零爆小、灵敏度高。

       QMG 700 分析质谱仪

A、小于5X10^-4mba  可选择MPH/MPS。

B、大气压          可选择SPS/CPM。

C、小于1.3X10^-2mba 可选择XPR3。

关于质量数的选择：
1、100Amu

   典型应用于非反应性工艺过程，如PVD镀膜、热处理、激光、普通气体分析。检测H2、He、H2O、N2、Co、O2、Ar、CO2等小分子气体。

2、200/300 Amu

   典型应用于反应性工艺过程，如ETCH/CVD等，监测残余气体及工艺气体如CCL4，碳氢化合物、SiCL4、SF6、C3F8、WF6和Xe等高分子材料

七、关于参数指标上的解读？

1、检测器类型有FC和EM各是什么？
   FC是法拉第杯 EM是增强模块。

2、小可检分压强是什么意思？

   是真空腔里存在气体小压强，就像一杆秤，如果小于小压强，就不能秤出数据来。

3、仪器报警是怎么回事？

   一般是灯丝烧坏了。灯丝是耗材，一般客户会备用一些。

4、RGA使用方便简单吗？容易学吗？

   科锐诗汀提供详细的使用说明书，简单易上手。