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科技名词定义
中文名称：真空镀膜 英文名称：vacuum deposition 定义：在真空条件下，对光学零件镀膜的工艺过程。 所属学科：机械工程（一级学科）；光学仪器（二级学科）；光学仪器一般名词（三级学科） 本内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布
百科名片
真空镀膜一种产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术用于生产激光唱片（光盘）上的铝镀膜和由掩膜在印刷电路板上镀金属膜.
真空镀膜安全操作规程展开 简介
真空镀膜 在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
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