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inficon 真空计的名称由来
真空腔体的真空压强检测使用真空计,一般配置是:前级泵组管道配置一只PSG500;本底真空配置一只热电离规或者冷阴极规MPG400或者BPG400;工艺压强测量/监控配置一只CDG025D。
1. PSG系列: Pirani Standard Gauge
2. PCG系列: Pirani Capacity Gauge
3. CDG系列:Capacity Diaphragm Gauge
4. BAG系列:Bayard Alpert Gauge
5. VGC系列:Vacuum Gauge Controller
6、BPG系列:Bayard-Alpert Pirani Gauge(B-A型皮拉尼)
7、MPG系列:Magnetron Pirani Gauge(磁控皮拉尼)
8、HPG系列:High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge
9、PGE系列:Pirani Gauge Enhanced
10、PEG系列:Penning Gauge(冷阴极潘宁规)
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