氦质谱检漏仪，是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度zui高，使用zui普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪的应用：
元件检漏的要求，灵活性测试，高灵敏度，快速于的结果，快速启动，移动性和系统的可靠性。
半导体工艺设备的维护，该设备本身带或未带有真空泵
工艺气体系统的检测与安装
元器件在组装前的漏率测试
要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件的应用场合
氦质谱检漏仪的原理：
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中zui常用的两种方法。
