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深圳市科锐诗汀科技有限公司资料大小
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| ·新型EM在PVD工艺压强下工作，提供更快速、清晰的数据收集和免除FC至EM的转换，简化数据的解译过程。 | |
| ·新型加长的四极杆场可提高低质量范围的过滤能力，提高质谱仪分辨同位素的灵敏度，从而改善氢的监测灵敏度。 | |
| Transpwctor XPR3是新一代的高压强四极场工艺气体分析仪。它研发于先前INFICON系统成功的基础上，在物理相汽沉积（PVD）检测中具有无比高的灵敏度、度和灵活性。一系列技术上的突破使轻便型Transpwctor XPR3的工作范围从20耗乇至超高真空，无需大型负责的压强转换设备。 | |
| TRANSPECTOR XPR3的应用 | |
| ·PVD工艺模块 | |
| ·预清洗模块 | |
| ·Non-cluter PVD设备 | |
| ·Clamped的除气模块 |
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