镀膜机常见故障及维修

 镀膜机常见故障及维修方法

     出现故障后应首先要向使用者了解故障的现象，之后要亲自开机观察故障，这样才能更准确、更快、更合理的排除故障。

  
    应先检测低真空是否正常（机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室），低真空正常后再开主泵，主泵工作正常后检测下室真空中是否正常，下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏，直至达到工作真空，极限真空、保真空、恢复真空，如极限真空和保真空正常，而恢复真空和工作真空不正常则可能主泵有问题。

以下列举常见故障及维修方法：

一、当正在镀膜时真空度突然下降

1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）

2、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）

3、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）

4、坩埚被打穿（更换坩埚）

5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）

6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）

7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）

8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）

9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）

10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）

二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空：

1、蒸发室有很多粉尘（应清冼）

2、扩散泵很久未换油（应清冼换油）

3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油）

4、各动密封胶圈损坏（更换胶圈）

5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈）

6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）

7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）

8、高低预阀是否密封可靠（注油）