高效、精确、简便的泄漏检测，不仅归功于高性能的检测仪器，还离不开仪器所配置的各种智能工具。今天，官微君就将用一篇文章，为您讲清楚英福康那些应用于氦气检漏操作，懂仪器、更懂你的实用工具们。

I·BOOST信号处理滤波器

—— 提速技能满分

依靠软件更新后的I·BOOST信号处理滤波器，英福康可通过加速泄漏率信号、缩短喷涂间隔时间，来帮助用户显著提升测试效率，尤其适用于UL3000 Fab 和 UL6000 Fab 系列。

更值得一提的是，I·BOOST的优势在复杂的半导体系统检漏应用中尤为突出。“极限泄漏率越低，测试周期通常就越长，而这正是 I·BOOST 的高灵敏度和省时。"英福康总部产品经理马库斯-施万贝拉介绍说。

SPRAY-Check参考漏孔

—— 不放过一处泄漏

SPRAY-Check是一种易于安装的参考漏孔，其以石英窗为基础，只对氦气和氢气等轻气体有渗透性。使用其辅助泄漏检测，不仅提高了安全性，还扩展了检测的功能，例如可在相关泄漏率范围内检查测量设置和测试方案，或是将其直接连接到生产系统中进行死区时间检查等。

“在使用氦气进行泄漏检测时，从喷射气体到检漏仪显示屏出现指示一般会有一段时间的间隔，用户可通过估算该时间，来明确划分出潜在的泄漏点。例如，若死锁时间过后显示屏没有任何指示，则说明没有泄漏。"马库斯-施万贝拉进一步解释说，“由于SPRAY-Check不受对工艺有害的气体（如水或氧气）的影响，因此它也可以安装在半导体系统中，或应用于极限泄漏率低于 10^-9 mbar x l/s 的系统中。"