真空钟摆阀是一种通过圆形阀板做 “钟摆式摆动" 实现真空隔离/流量控制的阀门，一般作为大口径节流阀安装在真空腔体和涡轮分子泵入口之间，通常应用于FPD、SEMI、Solar和PV行业的真空镀膜系统。
钟摆阀安装位置-真空泵与工艺腔之间
目前的钟摆阀设计均采用镀镍或硬质阳极氧化工艺来防腐蚀和减少灰尘，考虑到摆阀尺寸巨大，阀体大多采用铝制金属以减少重量和制造成本，可在气动或APC模式下运行，其中APC钟摆阀可以实现真空隔离的同时，也能实现中下游端的精准压力控制。
气动钟摆阀 APC压力控制钟摆阀
-日扬APC钟摆阀-
• 设计紧凑，振动小，启闭运动平稳
• 抗腐蚀，低粉尘，精准的压力控制
• 可定制尺寸，最大可达ISO500
• 模块化设计，易于拆卸方便维护
• 控制精度可达最大量程的0.1%
APC控制摆阀可以在真空系统中实现高效、稳定的压力控制，凭借其低污染、快响应、易维护等特点，已成为高精密真空系统的标准配置。日扬已为不同行业客户定制研发多款APC钟摆阀，适配越来越复杂的真空工艺需求，成功实现国产代替。
—APC钟摆阀展出现场—
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